Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А.И., Под ред. Тимошенкова С.П.
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультра-больших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.;Гриф:Допущено Учебно-методическим объединением вузов Российской Федерации по образованию в области радиоэлектроники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 «Электроника и микроэлектроника»
年:
2015
版本:
3
出版商:
Издательство "Лаборатория знаний" (ранее "БИНОМ. Лаборатория знаний")
語言:
russian
頁數:
286
ISBN 10:
5996321297
ISBN 13:
9785996321292
系列:
Нанотехнология
文件:
PDF, 6.14 MB
IPFS:
,
russian, 2015